激光位移傳感器

實現了比以往 * 小 1/50 的超小型尺寸

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  傳統的 激光位移計 *
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  ?8 小型傳感器探頭

* 傳統機種以及以往型號代指本公司 LK 系列產品

新方案 采用支持 4 個方向的直角式單元，更省空間［CL-V020/V050］

探頭體型小巧，卻擁有同級超大的測量量程 *1

*1 作為白光共焦型激光位移計。

支持超高真空 *

CL-V020/V050 可在真空裝置內使用，所以傳感器探頭內不使用有機粘合劑。
SUS304 的傳感器探頭內部僅有鏡頭，盡可能減少滲氣的產生。此外，還支持低濕度、低露點的干式無塵室。

* 作為白光共焦型激光位移計。

耐 200°C 高溫

CL-V020/V050 采用自主研發的特殊結構，即使在 200°C 的高溫 下光學系統也不會變化，所以性能不會降低。可以直接在裝有傳 感器探頭的狀態下進行烘烤。

優秀的防塵、防水性能 IP67*

采用高防水性能，即使在加工現場等易產生飛沫的場所，也能放心使用。

*CL-V020/V050、CL-S015/CL-PT010 除外。