產品規格 彩色激光同軸位移計 CL-3000 系列

光學單元?傳感器探頭 - Quad 式

型號

CL-L007N*1

CL-L015N*1

CL-L030N*1

CL-L070N*1

CL-L150N*1

圖像

類型

光學單元

探頭

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

CL-L150 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

標準設定范圍

測量范圍

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直線性

± 2.1 μm *2

± 0.49 μm *2

± 0.94 μm *2

± 2.2 μm *2

± 5.65 μm *2

高精度測量范圍

測量范圍

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直線性

± 0.91 μm *2

± 0.41 μm *2

± 0.72 μm *2

± 2.0 μm *2

± 4.65 μm *2

分辨率

0.25 μm *3

光點直徑

? 750 μm

? 300 μm

? 500 μm

? 600 μm

? 1000 μm

激光級別

光學單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段可調)

環境抗耐性

保護結構

探頭

IP67(IEC60529)

環境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環境溫度

0 至 50℃

相對濕度

85% RH 以下(無凝結)

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃

光學單元

0.015% of F.S. /℃

材質

探頭

SUS

前部:SUS 后部:鋁合金

光學單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 140 g

約 180 g

約 200 g

約 280 g

約 380 g

光學單元

約 1600 g

*1 感測頭和光學單元為配對調整。無兼容性。
*2 通過位移模式測量本公司標準工件(鏡面體)的值。
*3 按平均次數 16384 次測量本公司標準工件(鏡面體)的值。

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光學單元?傳感器探頭 - 點式

型號

CL-P007N*1

CL-P015N*1

CL-P030N*1

CL-P070N*1

CL-P150N*1

圖像

類型

光學單元

探頭

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-P150 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

標準設定范圍

測量范圍

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直線性

± 0.96 μm *2

± 0.49 μm *2

± 0.94 μm *2

± 2.2 μm *2

± 5.65 μm *2

高精度測量范圍

測量范圍

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直線性

± 0.55 μm *2

± 0.41 μm *2

± 0.72 μm *2

± 2.0 μm *2

± 4.65 μm *2

分辨率

0.25 μm

光點直徑

? 50 μm

? 25 μm

? 38 μm

? 50 μm

? 75 μm

激光級別

光學單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段可調)

環境抗耐性

保護結構

探頭

IP67(IEC60529)

環境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

環境溫度

0 至 50℃

相對濕度

85% RH 以下(無凝結)

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃

光學單元

0.015% of F.S. /℃

材質

探頭

SUS

前部:SUS 后部:鋁合金

光學單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 140 g

約 180 g

約 200 g

約 280 g

約 380 g

光學單元

約 1600 g

*1 感測頭和光學單元為配對調整。無兼容性。
*2 通過位移模式測量本公司標準工件(鏡面體)的值。

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型號

CL-S015N*1

CL-V020N*1

CL-V050N*1

CL-PT010N*1

圖像

類型

光學單元

探頭

CL-S015 *1

CL-V020 *1

CL-V050 *1

CL-PT010 *1

基準距離

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

標準設定范圍

測量范圍

± 1.0 mm

± 1.3 mm

± 4 mm

± 0.3 mm

直線性

± 0.35 μm *2

± 0.45 μm *2

± 1.4 μm *2

± 0.22 μm *2

高精度測量范圍

測量范圍

? 0.2 mm/? 1.0 mm

± 0.5 mm

± 1.6 mm

± 0.15 mm

直線性

± 0.25 μm *2

± 0.38 μm *2

± 1.3 μm *2

± 0.2 μm *2

分辨率

0.25 μm *3

光點直徑

? 10 μm

? 20 μm

? 40 μm

? 3.5 μm

激光級別

光學單元

Class 1

采樣周期

100/200/500/1000 μs(4 段可調)

環境抗耐性

保護結構

探頭

IP50

IP40 真空用除氣結構 *5

IP64(IEC60529)

環境光照

物體面照度 30000 lux(白熾燈)

使用環境溫度

探頭

-20 至+70°C

-20 至+200°C

0 至+50°C

光學單元

0 至+50°C

相對濕度

85% RH 以下(無凝結)

耐振動性

探頭

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.45 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

光學單元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時

耐沖擊性

15G 6 ms

真空

支持真空

支持超高真空 *6

溫度特性

探頭

0.005% of F.S. /℃ *4

0.013% of F.S. /℃ *4

0.015% of F.S. /℃ *4

0.1% of F.S. /℃ *4

光學單元

0.015% of F.S. /℃

材質

探頭

SUS303/304

SUS304

前部:SUS 后部:鋁合金

光學單元

聚碳酸酯

重量

探頭

約 350 g

約 100 g

約 1100 g

光學單元

約 1600 g

*1 感測頭和光學單元為配對調整。無兼容性。
*2 通過位移模式測量本公司標準工件(鏡面體)的值。
*3 按平均次數 16384 次測量本公司標準工件(鏡面體)的值。
*4 數據適用于在感測頭與工件之間使用 SUS303(或 SUS304)夾具的情況。
*5 粘貼附帶的貼紙后,相當于IP50。
*6 在10^-6 Pa 環境下經過動作驗證。

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