干涉式同軸 3D 位移測量儀

WI-5000 系列

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產品規格 干涉式同軸 3D 位移測量儀 WI-5000 系列

型號

WI-001*1*2*3

WI-004*1*2*3

WI-010*1*2*3

圖像

參考距離

18 mm

測量范圍

Z

1.4 mm(標準模式),0.7 mm(高速模式)

XY

1 × 1 mm

4 × 4 mm

10 × 10 mm

最小檢測區域

4 × 4 μm

15 × 15 μm

40 × 40 μm

重復精度(段差)

0.1 μm*4

直線性(段差)

±2.8 μm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm,+20 至+30℃)*5

測量用光源

類型

紅外線SLD

中心波長

830 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 類

輸出

3.6 mW

引導用光源

類型

紅色半導體激光

波長

660 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

1 類

輸出

0.15 mW

采樣周期

內部觸發

133 ms(高速模式),266 ms(標準模式)

外部觸發

最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(標準模式)*6

環境抗耐性

環境光照

白熾燈/熒光燈:5,000 lux 以下

環境溫度

0 至 +35 °C

相對濕度

20 至 85 % RH (無凝結)

重量

約 3000 g

*1 FDA (CDRH) 的激光分類是基于 IEC60825-1 并根據 Laser Notice 的要求而實施的。高度(從測量頭的基準面到測量工件的距離)的分辨率為 1μm(*2)。
*2 使用基恩士標準目標物,并測量單一矩形區域(*3)的平均高度 30 秒時的±3σ 值(自動修復OFF 時)。
*3 矩形的尺寸為WI-001:0.3 × 0.9 mm,WI-004:1.1 × 3.7 mm,WI-010:3 × 9 mm。
*4 使用基恩士標準目標物,并測量 2 個矩形區域(*3)的平均段差 30 秒時的σ 值(自動修復OFF 時,且拍攝時間為精確度優先時)。
*5 使用基恩士標準目標物,并測量 2 個矩形區域(*3)的平均段差時的值(自動修復OFF 時,且拍攝時間為精確度優先時)。
*6 拍攝時的工件停止時間為高速模式 120 ms,標準模式 240 ms。

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型號

WI-5000

圖像

測量頭連接臺數

1 臺

設定注冊數

SD 卡 1、SD 卡 2 分別可保存 1000 個(取決于 SD 卡容量及設定內容),可進行外部切換

測量工具數

100 個/ 設定(其中20 個為位置偏移補正用)

測量模式

高度

高度測量、段差測量、多點高度測量(固定配置)、多點高度測量(自由配置)、輪廓測量、連續高度測量

圖像尺寸測量

距離測量、寬度測量、直線檢測、角度測量、圓檢測、點檢測

輔助功能

數值計算、圖像范圍生成、直線顯示、圓顯示、點顯示、刻度線顯示

接口

控制輸入

20 點(輸入端子臺5 點,并聯 I/O15 點)

控制輸出

?28 點(輸出端子臺 6 點,并聯I/O 22 點)
?光MOSFET*1

RS-232C

數值輸出及控制輸入輸出(無法與使用 RS-232C 端口的 PLC 鏈接同時使用)

PLC 鏈接

使用 Ethernet 端口或 RS-232C 端口進行數值輸出及控制輸入輸出(無法與 EtherNet/IP? 同時使用。使用 RS-232C 端口時,無法與 RS-232C 無協議通信同時使用)

Ethernet

?數值輸出及控制輸入輸出
?與基恩士生產的PC 應用軟件連接后,除了上述功能以外,還能進行包含檢測設定的上傳、下載、各種模擬、圖像數據在內的各種數據的收發、程連接
?支持FTP 客戶端、服務器功能,支持VNC 服務器功能(計算機以外的客戶端僅支持顯示器畫面顯示)、BOOTP 功能
?1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T

USB

?與基恩士生產的PC 應用軟件連接后,除了數值輸出、控制輸入輸出以外,還能進行包含檢測設定的上傳、下載、各種模擬、圖像數據在內的各種數據的收發、遠程連接
?USB2.0 專用

EtherNet/IP?

?使用Ethernet 端口進行數值輸入輸出及控制輸入輸出(無法與PLC 鏈接同時使用)
?支持循環通信(最大 1436 byte)、支持信息通信
?最大連接數 32
?遵循一致性測試 CT12 版

鼠標

可使用選配件的專用鼠標(8與控制器包裝在一起)進行各種菜單操作

USB HDD

通過將專用的USB 端口(符合USB3.0,支持總線電源:額定輸出 900 mA)連接到HDD(最大 2 TB),可輸出包含圖像數據在內的各種數據

顯示器輸出

模擬 RGB 輸出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色,60 Hz)

最小顯示單位

0.1 μm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3

顯示語言

簡體中文/ 繁體中文/ 日文/ 英文/ 韓文 切換(初次啟動時決定初始語言)

額定

最大消耗電流

2.7 A

電源電壓

24 VDC ±10 %

環境抗耐性

環境溫度

0 至 +45 °C (DIN 導軌安裝)、0 至 +40 °C (底面安裝)

相對濕度

35 至 85 % RH (無凝結)

重量

約 2,000 g

*1 支持NPN 輸入設備的+ 共用連接、支持PNP 輸入設備的- 共用連接均可。

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型號

WI-S1

圖像

XY 載物臺移動量

X 軸:75 mm,Y 軸:50 mm

XY 載物臺傾斜角度

±2 度

Z 軸載物臺移動量

粗調節輪:64 mm,微調節輪:2.0 mm

外形尺寸(可動部位除外)

寬度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm

重量

約 10 kg

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型號

WI-C3

WI-C5

WI-C10

WI-C3L

WI-C5L

WI-C10L

WI-C3R

WI-C5R

WI-C10R

圖像

類型

測量頭連接電纜 標準

測量頭連接電纜 高柔性

末端形狀

直型

L 型

直型

長度

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

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